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MSD系列溅射电源

MSD系列直流溅射电源采用公司最核心的直流控制系统结合优异的弧光处理方案,从而使产品具有非常稳定的性能,产品可靠性高,电弧损伤小,工艺重复性好。采用中英文显示界面,操作简便。
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产品编号
产品系列:
MSD系列
数量
-
+
库存:
0
产品描述
参数
型号定义
主要参数

● 机架式安装方式

● 快速的电弧响应,响应时间<100ns

● 底能量储存,<1mJ/kW

● 紧凑的安装结构,3U标准机箱

● 中/英文显示界面,操作便捷

● 精密的控制

● 宽范围的输出

● 完善保护功能

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输入

输入电压:3ΦAC380V±10%

功率等级:20kW、30 kW

输入电源频率:50Hz/60Hz

输出

最大输出电压800V

最大输出电流50A75A

输出电流纹波:≤3% rms

输出电压纹波:≤2% rms

技术指标

点火电压:1000V/1200V可选

转换效率:95%

电弧关断时间:<100ns

通讯接口:标配RS485/RS232(可选配Profibus、ProfiNet、DeviceNET、EtherCAT)

尺寸(H*W*D)mm:132*482*560:176*482*700

冷却方式:风冷

注:产品不断创新,性能继续提升,本参数说明仅供参考。

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